Pembentukan Diafragma Beralun Silikon Dengan Menggunakan Teknik Punaran Anisotropik

Abstract

Kertas ini memaparkan kajian mengenai pembentukan diafragma beralun silikon dengan menggunakan teknik punaran anisotropik di mana larutan kalium hidroksida digunakan sebagai larutan pemunar. Kajian ini meliputi pengoptimuman topeng punaran bagi mengatasi masalah keadaan potong bawah penjuru yang berlaku pada struktur berpenjuru cembung diafragma beralun yang terpunar. Hasil yang diperolehi daripada kajian simulasi dan eksperimen membuktikan bahawa pengoptimuman topeng punaran yang telah dilakukan berkemampuan mengatasi masalah potong bawah penjuru diafragma beralun silikon. Kata kunci: diafragma beralun, punaran anisotropik, pengoptimuman topeng This paper presents the study of the formation of a perfect silicon corrugated diaphragm using anisotropic etching technique. Potassim hydroxide (KOH) solution is used as the etching solvent in this study. This study includes optimization of the etching mask, in order to avoid the problem of corner undercutting which exists on all convex corner structures on the etched corrugated diaphragm. Results from the simulation and experimental studies have proved that the optimized etching mask design was able to overcome the problem of convex corner undercutting. Key words: corrugated diaphragm, anisotropic etching, mask optimization